[摘要]TFT-LCD液晶顯示屏的主要清洗方法有濕式清洗法和干式清洗法，其中濕式清洗法包含物理清洗（包括毛刷刷洗、高壓水柱沖洗、二流體噴淋
TFT-LCD液晶顯示屏的主要清洗方法有濕式清洗法和干式清洗法，其中濕式清洗法包含物理清洗（包括毛刷刷洗、高壓水柱沖洗、二流體噴淋、超音波（Ultrasonic,20~50kHz）清洗等方式）和化學清洗（依污染物選擇溶劑，分為有機溶劑、中性洗劑、化學清洗液及純水等）。干式清洗法包含有紫外線臭氧、雷射清洗及plasma等幾種，其中又以紫外線臭氧清洗法最普遍。TFT陣列基板的清洗是各種清洗技術的綜合應用，會依據清洗物和污物的性質采用不同的清洗組合方式。